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蝕刻
蝕刻(etching)是將材料使用化學(xué)反應或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。蝕刻技術(shù)可以分爲溼蝕刻(wet etching)和幹蝕刻(dry etching)兩類(lèi)。最早可用來(lái)製造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用於減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板,銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等的加工;經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設備發(fā)展,亦可以用於航空、機械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導體制程上,蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。 ? 漢典